半导体生产工艺对无尘车间洁净棚温湿度要求
摘要：
洁净棚的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。
百科净化制作产品：净化设备：洁净棚、超净工作台、洗手池、风淋室、货淋室、传递窗、FFU、BFU、高效送风口、层流罩、新风柜、采样车、无尘衣柜等不锈钢净化制品。
耗材配件：初，中，高效过滤器、耐高温过滤器、液槽式高效过滤器、回风百叶、调节阀、保温软管、法兰等。
百科净化专业从事净化设备研发生产、安装、维护的全面性技术服务的高科技企业。我们拥有强大的销售团队、众多专业技术人才，贴心的售后服务。产品广泛应用于光电、食品饮料、微电子、精密仪器、通讯通信、生物制药、农林、畜牧兽医、检验检疫、航空航天、汽车制造、大专院校和科研教学等行业领域。公司本着诚信、团结、创新、持续发展的经营理念致力于洁净行业，坚持以客户三个满意为基本原则："产品质量的满意， 先进技术的满意，售后服务的满意 ",不断加强企业内部的综合竞争力，公司在竞争中求发展，在挑战中谋机遇。勤劳和真诚的我们愿与您携手并进、共创辉煌！
深圳市百科净化科技有限公司与国内外众多知名品牌企业建立了良好、稳固的合作伙伴关系，公司拥有强大的人才、技术团队。并先后成为：惠州TCL移动通信、冠捷科技、信利电子、和而泰、上海微电子、印度尼西亚evercoss、菲律宾VanNC、Blackview、启鹏天辰、易快来、龙祥卓越、思迪科、载诚中触等众多企业的合作伙伴。
以上是小编收集整理的半导体生产工艺对无尘车间洁净棚温湿度要求部分内容来自网络，如有侵权请联系删除：153045535@qq.com;
本文地址：https://metroglobal-corp.com/keji/3603.html
