洁净室/无尘室基础知识与管理

洁净室（亦称无尘室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

现行标准：GB50073-2013 洁净厂房设计规范。

各种条件下微尘状况

尘埃粒子直径的示意图：

灰尘又是如何产生的呢？

一般事务室里拍摄的例子

荧光灯全部消失的场合：

走路时候发尘样子对比

左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。

拍击工作服时产生的尘埃粒子对比

左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。

洁净室内的事例

作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。

浮游粒子

使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。

纸张的发尘对比

左边是普通纸，右边是无尘纸。

胶带和手套的发尘例子

左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。

电动工具的发尘例子

左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。

吸尘器排气的例子

吸尘器各地方排气泄漏的样子。

打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子：

打喷嚏时瞬间发生的飞沫。

发汗现象：从胳膊发汗条件创造。

吸烟的例子：香烟烟雾的粒子。

运动时产生的尘埃粒子数量

灰尘是如何去除的呢？

洁净室的空气净化：

手持简易型激光粒子计数器

测量空气中微粒的数量：

限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。

这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。

由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。

高效过滤器

高效过滤器检漏：

卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声 （即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。

风量罩

测量送风风速：

风量罩主要由三个部分构成：风量罩体、基座、PDA构成。

风量罩体主要用于采集风量，将风汇集至基础上的风速均匀器上。在风速均匀器上装有热式传感器，热式传感器将风速的变化，再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA，大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据。操作简单，可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录，以便对数据进行分析。测量和记录的数据被记录在存储卡上，不会丢失，可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用。

风罩的测量技术要求：

压差测定仪表

压差检测：普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa，某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10～-30Pa。

根据国家标准GB19489-2008“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气压污染区为-40Pa，根据国家标准GB50346-2011“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。

在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。

温湿度计

测量温湿度：电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中广泛使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。

电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。

它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。

氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。

电容式传感器：电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。

照明：泪滴型照明灯具，嵌入式照明灯具。

照度计

照度测试：照度测试宜采用便携式数字照度计。

洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。

照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。

静电检测仪

测量静电：该类测试仪表不直接与带电体接触，而是运用静电感应的原理，间接测试带电体的静电电位。由于这种测试不是直接同带电体相接触，因此也称非接触式测量。

静电感应原理：是将测试探头靠近带电体，利用探头与被测带电体之间产生的畸变电场测试带电体的表面电位。

静电控制

ESD控制= Man(人)+ Machine (机) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(环)。

风淋室（Airshower）

风淋室设于无尘室入口处，具有以下功能：

人员管制；AIR LOCK 气锁功能，防止交叉污染；

风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。

注：正确使用风淋室，能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示进行操作，够去除95%的1μ以上的灰尘。

传递箱 (PASS BOX)

置于洁净室隔间墙上之装置功能：

做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压；

可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入；

进出口具有不可同时开启的联锁控制，以达到防止交叉污染。

洁净室及洁净区洁净度等级

洁净室的管理四大原则：

不将灰尘带入

不让灰尘产生

正确穿着洁净服：

正确使用风淋室之进入洁净室

使用风淋室注意事项

正确使用风淋室之走出洁净室流程

洁净室禁止携带物品举例

洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、食品、个人物品、不使用物品、未清洁物品及工具等。

洁净室专用物品举例

洁净室必须使用专用物品：

不让灰尘堆积-洁净室 (Clean Room)的清扫

以Ａ⇒Ｂ⇒Ｃ⇒Ｄ⇒Ｅ的顺序、从上往下进行清扫。

清扫区域要点图：

A ：楼承板及天花板上梁清扫：

用无尘布清理灰尘；

用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓 手够不到的地方用拖把用纯水擦拭一次以上。

要点：将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗，在梁上不要残留下痕迹。

B：楼承板及天花板上设备机器清扫

保护膜全部撕掉、用无尘布清理掉积尘；

用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。

要点　将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗：在配管等上面不要残留下痕迹。

C：楼承板及天花板清扫

收拾垃圾、用拖把拖⇒楼承板及天花板上用纯水擦拭将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗：在天花板上面不要残留下痕迹。

D：楼承板及天花板下设备机器清扫

保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫。暖通南社制作。

E：地板清扫

操作顺序是先撕掉保护膜⇒收拾垃圾・用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁⇒用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂对应)⇒干燥。

柱子・阀门用水擦拭、墙壁的铝蜂巢板用擦拭的方法进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫(柱子的话事前能够清扫的地方进行清扫。

注意：务必将作业区域跟清扫区域区分开来。

清扫事例

①从上往下清洁；

②从里往外清洁；

③朝一个方向清洁。

洁净室清洁工具及清洁产品

洁净室必须使用专用清洁工具及清洁产品：

迅速排出灰尘

洁净室内的注意事项

1.洁净室内禁止跑动，走路时禁止拖防静电鞋。

2.禁止闲聊、吵闹，大声叫人。

3.个人用品(手机,手表等)及食物禁止搬入洁净室内。

4.搬入资材及易耗品等生产物品时必须通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入。

5.化妆或涂指甲油的人禁止出入。

6.防静电帽，防静电服外露出头发，眼眉，一般服装不正确时立即到更衣室(Smock Room)点检着装之后再次通过风淋室(Air Shower)后入室。

7.防静电手套及手指套被破损或受污染时立即更换新的使用。

8.作业时Clean Room帽(防静电帽)，防静电服及防静电鞋破损或受污染时通知组长交换新的使用。

9.开始作业时、终了时，休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边。

10.作业台上禁止放置不必要的什器。

11.禁止坐着转动椅子或向后摆动。

12.禁止靠在装备、墙，作业台等。

13.禁止坐在地板上。

14.禁止用手套触摸皮肤。

15.交换器及电源等电装置要注意触电。

16.完成作业之后整理，整顿作业台、尺工具及周围后退室。

某光电厂房洁净室管理

洁净室进退流程：

人员训练与资格考核

凡需进入无尘室工作人员，无论本公司或公司外部人士，除外宾外(客户、VIP等)。

任何人员皆需经洁净室训练或资格考核及格，方可进出无尘室。

人员需经资格考核及格后，无尘室管制室方可发放无尘衣。

外部人员进入无尘室之申请

外部人员进入无尘室，由相关单位代为提出「无尘室申请单」。

施工厂商可由警卫室申请「临时工作证」或由相关单位代为申请「长期工作证」。

进入更衣室与洗尘之管制

管制室应做到监控人、事、物之进出需合乎规定。

不可化妆，包含口红、粉底、指甲油、眼影、香水。

个人应保持良好卫生习惯，每日洗澡、刮胡子和定期洗头，经常洗手保持手部甲清洁。

不可携带私人物品，如香烟、打火机、食物饮料、化妆品、手镯、耳环、戒指。

除无尘室专用文具外，严禁携入铅笔、自来水笔、橡皮擦、蜡笔与一般纸张等。

棉质、纸盒、木材等易产生粉尘材料的物品禁止携入无尘室 。

吸烟30分钟后方可进入无尘室。

施工厂商需有专人陪同方可进入无尘室。

更衣步骤：

安全卫生之管制

无尘室内发现生产环境异状(不明之声音、烟蒂、溶剂及味道)应迅速反应至组长或相关人员、主管。

毒气外露警报声响时，应迅速呼叫同仁由安全门撤离，并应迅速反应至组长或相关人员、主管。

严禁切、削、钻等工程，如有必要需先做防尘措施与施工区域隔离措施。

如遇紧急状况，依工安单位规定之逃生路线，以最快速度离开无尘室。

紧急逃生时可不脱去无尘衣物 。

紧急状况消除后，静候通知进入无尘室，并更换干净之无尘衣物。

纪律管理

Class10,000区人员至Class100,000区作业后，若需重回Class10,000区者需经AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000区；而穿著Class100,000区无尘衣人员绝对禁止至Class10,000区。

不得坐于地板上，并严禁仅贴机台、墙壁、工作桌。

面对Cassette或机台时禁止讲话、较大之肢体动作，并严禁快速走动或追逐(警急警报响时除外)，保持慢速走动 。

除新人训练、公事交接外，应避免两人以上交谈。

Cassette或Tray不可置于地面，除Cassette待清洗区外。

禁止勾肩搭背、触摸其它人员或两人同坐一张无尘椅 。

无尘室内绝对禁止拍照录像，如有必要需经厂长同意 。

除非具合格之人员，否则严禁操作任何机台。

物品、器具、化学品之管制

应避免乱流产生与在机台区气流之上方等处放置物品或执行其它作业 。

化学药品应置于化学柜内。

化学药品应有明确之中英文标示。

使用过无尘布、无尘纸一律置于垃圾桶内。

无尘室门之管制

随手关门，无尘室之信道门应随时保持紧闭。

禁止用推车顶门。

门有损坏时应立刻通知处理。

电线、插座、蛇管之管制

机台之管线应用束线带束紧，固定于墙角或不妨碍通行之角落。

不使用胶带固定电线于地上或墙上。

使用插座时应确定所使用工具之电压与插座电压是否相同。

无论任何电线均不可用脚踩踏。

文件资料之管制

O/I需置于指定位置，不可任意放置，使用后需立即归回原位 。

O/I内容不可径自书写、涂改或做其它记号 。

携入无尘室之影印资料，需放入透明文夹内，打印资料应用喷墨打印机打印。

双孔或三孔打孔机禁止放置在生产区使用。

标示标语之管制

不得任意撰写标语张贴。

张贴标示时应依规定格式，并经制造主管同意。

消火箱灭火器之管制。

灭火器附近走道应保持畅通。

灭火器位置应按规定放置并有清楚之标示牌。

离开无尘室之管制

除紧急逃生外必须由Gowing Room路径离开。

人员进入更衣室后，脱去手套、口罩、网帽，并依规定垃圾桶丢弃。

脱无尘鞋，将无尘鞋置于自己鞋柜中。

脱无尘衣，将无尘衣置于自己衣架上(先脱上半身再脱下半身)。

无尘衣挂上衣架后确实将拉炼拉至领口，以防无尘衣滑落。

小型器具物品可随人员办登记后携出无尘室。

大型器具物品需有两组人员内外接应，人员则按离开无尘室手续离开。

设备保养之管制

执行保养前应要求机台LOAD/UNLOAD净空。

所有零件器具不可置于地上，大型器具对象应以塑料布垫妥再置于地上。

无尘衣物清洗与更新之管制

各区无尘衣物清洗每周一次。

原则上避免施工人员自备无尘衣物，统一由公司提供。

无尘衣物管理单位应将发放给予公司同仁之无尘衣物加以编号管理。

无尘衣磨/破损严重或修补超过三次应予以丢弃。

稽核改善与奖惩

品保单位应定期检测无尘室环境状况并依追踪改善情形。

制造单位或相关单位应全力配合品保单位之稽核行动，不可刁难或拒绝配合。

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